クロムガラスマスクの静電気対策！ESD対策でトラブル解消

静電気が発生する要因

クロムガラスマスクは、製造や取り扱い過程のさまざまな要因で静電気が蓄積しやすくなります。特に以下のような状況で静電気が発生しがちです。

1. 乾燥した環境
   湿度が低いと静電気が発生しやすくなります。
2. 接触・摩擦
   治具や作業台などの輸送時、ウエスやエアジェットなどの清掃時などの接触・摩擦する際に静電気が発生します。
3. 絶縁体素材の使用
   ガラス基板は絶縁体のため、発生した静電気を逃がしにくく、蓄積しやすい特性があります。

静電気によるクロム膜の破壊メカニズム

クロムガラスマスクのクロム膜は非常に薄く微細なパターンが形成されているため、静電気の放電によってダメージを受けやすい構造となっています。
では、静電気がどのようにクロム膜にダメージを与えるのでしょうか？

1. 接触放電

   帯電した物（人や設備）がクロムガラスマスクに触れると、静電気が放電され、導電性の高いクロム膜に急激な電流が流れます。
   その結果、瞬間的に高温（最大で3000℃）が発生し、クロム膜が溶解または蒸発してしまうこともあります。

   

2. 帯電放電

   摩擦や基板の着脱といった作業によりクロムガラスマスクに静電気が蓄積され、絶縁間で放電が発生します。
   特に絶縁部が狭いパターンや鋭角な部分で放電が起こりやすく、局所的なダメージを引き起こします。

   

竹田東京プロセスサービスが実施している3つの静電気対策

1. 静電気を「発生させない」
   作業環境の湿度を40〜60%に保つことが重要です。
   乾燥した環境は静電気を発生させやすいため、適切な湿度管理でリスクを大幅に軽減できます。
   また、樹脂製品には帯電防止剤を塗布することで、静電気の発生そのものを抑制します。
2. 静電気を「帯電させない」
   導電糸入りのクリーンウェアの着用やアースマットを使用し、静電気が蓄積しない環境を整えましょう。
   またリストストラップや導電靴を併用することで、静電気を安全に逃がしやすくなります。
   アースが難しい箇所にはイオナイザーを設置するのも効果的です。
3. 静電気を「放電させない」
   使用する道具も工夫しましょう。
   ある程度抵抗のある素材の道具を使用することで、静電気が急激に放電されず、クロム膜へのダメージを軽減できます。
   また、作業中はゆっくりとした動作を心がけることで、静電気の放電をさらに抑えることができます。

まとめ

クロムガラスマスクの静電気問題に悩む皆さま、竹田東京プロセスサービスが実施する3つのESD対策を参考に、トラブル解消に取り組んでみましょう。
作業環境の改善や道具の見直しにより、これまで以上に安定した製造環境を手に入れられるはずです。
もし、更なる対策をご希望なら 、ぜひ竹田東京プロセスサービスにご連絡ください。
私たちが静電気の悩みを解決し、皆さまの現場をしっかりサポートします！

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