静電気からCrガラスマスクを守る！驚きの対策とは？
Crガラスマスクの静電気対策、もうお済みですか？
前回の記事「クロムガラスマスクの静電気対策！ESD対策でトラブル解消」では、Crガラスマスクが製造現場で直面する静電気の脅威について、静電気が発生する要因やクロム膜への影響を中心に解説しました。
また、静電気トラブルを防ぐための基本的な対策として、湿度管理や帯電防止道具の活用など、竹田東京プロセスサービスが推奨する「発生させない」「帯電させない」「放電させない」の3つのアプローチをご紹介しました。
今回はさらに一歩進み、静電気トラブルを根本から防ぐために設計された「静電破壊対策用Crガラスマスク」に焦点を当て、その製品概要と効果について詳しく解説します。
これにより、静電気対策における次のステップを明確にし、現場での実践に役立てていただける内容となっています。
静電破壊対策用Crガラスマスク
前編でご紹介した3つの対策に加え、竹田東プロでは、Crガラスマスク自体を改良することで静電気への耐性を高める技術をご提案させていただきます。
従来のCrガラスマスクは、ガラス基板上にクロム薄膜を形成した構造でしたが、静電破壊対策用Crガラスマスクは、ガラスと低反射2層膜の間に導電体を付与することで、静電気を逃がしやすい構造になっています。
この導電体により、パターン間の電位差がなくなり、帯電放電による破壊を防ぐ効果があります。
静電破壊耐性テスト
実際に、静電破壊耐性テストを実施した結果、標準仕様では静電破壊が多数発生したのに対し、静電破壊対策仕様では、静電破壊が全く発生しませんでした！
テスト内容
- テスト実施前の帯電値測定： 初期状態での帯電値を測定し、静電気特性を把握。
- 清掃中の帯電値測定： クリーンルーム用粘着ローラーでクロム膜を清掃し、帯電リスクを評価。
- 清掃後の帯電値測定： 清掃作業後の帯電値を測定し、静電破壊対策仕様の効果を検証。
この結果から、静電破壊対策用Crガラスマスクが、静電気による破壊からCrガラスマスクを効果的に保護することが実証されました。
まとめ
静電破壊対策用のCrガラスマスクは、製造現場での静電気トラブルを防ぎ、安定した環境づくりに貢献します。
製造プロセスの効率化や品質向上にもつながるため、安心して生産を進めることができます。
静電気による問題を減らし、スムーズなものづくりを目指しませんか？
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