ガラスマスクの破損・静電気リスクを防ぐ！特注マスクケースの選び方と主な種類
製造・開発プロセスにおいて使用されるガラスマスク（フォトマスク等）は、極めて精密かつ高価な部材です。そのため、保管や製造ライン間の搬送、異拠点・海外への移動時には、微細なパーティクル（ゴミ・塵埃）の付着や静電気破壊、さらには落下・振動による破損リスクを徹底的に排除しなければなりません。
しかし現場では、「自社のガラスサイズや板厚に合うケースが見つからない」「ペリクル付きマスクの保管に困っている」「帯電防止機能や遮光機能が必要」「遠距離移動に耐えられる堅牢なケースがほしい」といった多種多様な課題が存在します。
竹田東京プロセスサービスでは、お客様が取り扱うガラスマスクのサイズや枚数、用途に合わせて、形状から材質まで最適化する「各種マスクケース」を取り揃え、ご要望に応じたオーダーメイド対応を行っています。
本記事では、ガラスマスク（フォトマスク）の保管・搬送における課題と、当社のマスクケースの主要ラインナップおよび選び方のポイントについて解説します。
1. ガラスマスクの保管・搬送における主な課題
精密なガラスマスクの取り扱いにおいて、既存の不適切なケースを使用していると、以下のようなトラブルが発生するリスクがあります。
静電気帯電による異物吸着・パターン破壊
一般的な樹脂ケースは静電気を帯びやすく、空気中のチリやホコリを引き寄せてしまいます。これが露光不良の原因になるほか、静電放電によってマスク上の微細パターンが破壊されるリスクがあります。
ペリクル（防塵カバー）や特殊板厚への非対応
ペリクルが貼り付けられたマスクや、厚みのあるガラス（板厚6.35mmなど）は一般的なケースに収まらない、あるいはフレームに干渉して破損する危険性があります。
搬送・移動時の振動・衝撃破壊
工程間の移動や拠点間の長距離移動時に、十分な緩衝性や耐衝撃性がないと、わずかな衝撃で基板が欠けたり表面に傷が入ったりします。
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2. 竹田東京プロセスサービスが提供するマスクケースの主な種類
当社では、用途や運用環境に合わせてお選びいただけるよう、多様なタイプのマスクケースを展開しております。
① 小型タイプ（コスパ重視）
樹脂製で常時在庫を保有しており、手軽さと短納期対応を最優先したい場合に最適です。
▲ 小型タイプ（コスパ重視）の一例
② 小型タイプ（制電性）
帯電防止素材を採用し、収納物を静電剥離から守りつつケース自体へのホコリ付着も防止します。
▲ 小型タイプ（制電性）の一例
③ ペリクル対応タイプ
ペリクル付きマスクや板厚6.35mmの厚板に対応し、ゴム付き仕様や遮光性のあるタイプもご用意しています。
▲ ペリクル対応タイプの一例
④ 複数枚タイプ（一括保管・工程間用）
縦置き構造で複数枚のマスクを効率よく収納でき、帯電防止や遮光などのオプション選択が可能です。
▲ 複数枚タイプの一例
⑤ 運搬用タイプ（長距離・ハード移動用）
内部クッションを備えたアルミ製アタッシュケースや、遠距離移動に適したキャスター付き耐衝撃キャリーケースをラインナップしています。
▲ 運搬用タイプの一例
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3. オーダーメイド・形状カスタマイズへのこだわり
当社では、上記の標準的なラインナップのご提供だけでなく、お客様のガラスサイズや保管数量、用途に合わせた自由な形状設計・特注カスタマイズを得意としています。
「特殊な形状のガラスマスクを保管したい」「製造装置へのセット作業を考慮した構造にしたい」「クリーン度に応じた制電材を用いて独自の治具を作りたい」といった個別のご要望に対しても、設計から柔軟にお応えいたします。
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4. 【無料ダウンロード】「マスクケース紹介資料」のご案内
当社Webサイトでは、各種マスクケースの具体的な製品写真や詳細スペック（対応インチ数・機能など）をまとめた「マスクケース紹介資料」を無料で公開しております。
【資料でご確認いただける内容】
- 各種マスクケースの製品画像・対応サイズ一覧
- 各タイプ別の機能特長（帯電防止、遮光性、クッション材の有無など）
- 運用用途に応じた最適なケースの選定イメージ
自社の製造ラインや研究開発におけるガラスマスクの保管・搬送方法の見直し、新規導入をご検討中の方は、ぜひ下記よりダウンロードしてご活用ください。
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